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多弧离子镀膜机气体和气体有什么区别(多弧离子镀膜机)

更新时间:2022-08-18 08:57:09

导读 大家好,小勉来为大家解答以上的问题。多弧离子镀膜机气体和气体有什么区别,多弧离子镀膜机这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1

大家好,小勉来为大家解答以上的问题。多弧离子镀膜机气体和气体有什么区别,多弧离子镀膜机这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!

1、离子镀膜其实是离子溅射镀膜,对于导电靶材,使用直流偏压电源;非导电靶材,使用脉冲偏压电源。

2、你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源 偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压。

3、阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流。

4、此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面。

5、 电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击。

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