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1、 湿式蚀刻的化学反应属于液相（溶液）与固相（薄膜）的反应。

2、当湿蚀刻进行动作的时候，首先，溶液里的反应物利用扩散效应来通过一层厚度相当薄的边界层，以达到被蚀刻薄膜的表面。

3、然后，这些反应物于薄膜表面的分子产生化学反应，并生成各种生成物。

4、这些位于薄膜表面的生成物，也利用扩散效应而通过边界层到溶液里，而后随着溶液被排出。

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