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天线效应(关于天线效应简介)

更新时间:2022-09-25 19:16:15

导读 大家好,小岳来为大家解答以上的问题。天线效应,关于天线效应简介这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 在芯片生产过程中,

大家好,小岳来为大家解答以上的问题。天线效应,关于天线效应简介这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!

1、 在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。

2、天线越长,收集的电荷也就越多,电压就越高。

3、若这片导体碰巧只接了MOS 的栅,那么高电压就可能把薄栅氧化层击穿,使电路失效,这种现象我们称之为“天线效应”。

4、随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。

5、 。

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